Dépôt de couches minces multi-cathodes DP850

DP850 : de la recherche vers l’industrie

De par ses dimensions, le système DP850 est orienté vers la production. Pouvant recevoir jusqu’à 6 cathodes magnétron de 200 mm, il permet la réalisation de multicouches complexes.

Le sas d’introduction permet d’optimiser les temps de cycles et la qualité des films déposés.

Nous avons également réalisé quelques exemplaires de ce système de 850 mm de diamètre pour des applications de recherche qui requièrent une configuration avec par exemple plus de 10 cathodes de 2″.

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