Eva 760

Grâce à son grand volume, le système EVA760 permet une large gamme de configurations complexes.
Cet équipement configurable au même titre que l’ensemble des bâtis de la gamme, peut traiter un grand nombre de substrats par run.

Son système de pompage largement dimensionné garantit une cadence élevée de production.

Mesure combinée d’épaisseur optique et mécanique (quartz), IAD, co-évaporation, régulation de pressions partielles, effluvage… sont autant de fonctionnalités pouvant être intégrées à votre futur système.

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