Cluster tool CT200

Outil ultime de synthèse des couches minces, CT200 et le dernier né de nos bureaux d’études et valorise notre savoir-faire accumulé depuis plus de 20 ans.
Equipement versatile et évolutif par définition, il est basé sur une chambre de transfert centrale équipée d’un robot sous vide. De cette chambre sont distribués les substrats vers les différents modules de procédé. Nous avons développé notre propre robot sous vide qui assure aujourd’hui une fiabilité à toute épreuve.

L’équipement se compose de différents modules, isolés les uns des autres garantissant une contamination particulaire nulle :
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  • Sas d’introduction ;
  • Chambre de transfert ;
  • Module RIE ;
  • Chambre de dépôt planar ;
  • Chambre de dépôt co-focale ;

En configuration « up » il est également possible de travailler avec des modules d’évaporation sous vide par faisceau d’électrons par exemple.

Si nous devions résumer CT200 en trois mots, ils seraient :

  • Performances,
  • Ergonomie,
  • Maintenance.

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